SAT 2000 遠程等離子清洗機（Plasma）

一、應用領域

 電鏡腔體內，存儲樣品的真空倉，對腔體內部以及內部存儲的樣品進行清潔或者樣品表面改性。

 二、實驗應用

 主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內的清洗以及一些存儲樣品的特殊真空倉內部和內部的樣品進行原位清潔。

 三、設備原理

采用遠程等離子清洗源，對電鏡腔體內部以及一些存儲樣品的特殊真空倉內部和內部的樣品進行原位清潔，清潔快速高效.

四、技術特點

遠程等離子源、清潔快速高效、原位清潔、可以連接不同規(guī)格的真空室.

五、技術規(guī)格

1. 7寸全彩觸摸屏智能程序化操控方式，人機互動界面。

2.手動、自動兩種工作模式，可根據客戶需求任意切換，自動工作模式下可編程，自動完成整個清洗過程。

*3.雙等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源。

*4.原位清洗，直接和SEM或FIB等電鏡法蘭連接清洗。

*5.13.56MHz射頻RF電源。

*6.射頻功率5-150W無極可調（根據實驗真空倉的大小可以選擇500W、1000W電源，適配真空倉，來保證離子激發(fā)充分）.

*7.遠程等離子源，自動匹配器。

8.時間設定0-99分59秒。

9.氣體穩(wěn)定時間1分鐘。

11.遠程離子源法蘭接口KF40（或者可以根據真空倉接口定制）。

12.工作氣壓0.3-3Pa。

12.工作氣體：氧氣、氮氣、氬氣等惰性氣體，也可以直接通入空氣。

13.標配單路質量流量計（MFC)可選雙路。0一500S，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

14.美國MKS數(shù)字真空流量計和電磁截止閥安全互鎖。

15.艙體、管路、閥體全部采用優(yōu)質不銹鋼材質。

16.風冷方式。

17.電源220V，50/60Hz。