
SAT 1620 真空等離子(Plasma)真空等離子清洗機
- SAT 1520是一款不銹鋼方形艙體,15升大容量,兩層電極板分布,高功率(300W)、高頻率(13.56Mhz)、內置兩路MFC、高品質、高性價比的微小生產型設備,是您實驗室或者微小型生產的理想選擇。
產品詳細
SAT 1620 小型生產等離子清洗機(Plasma)
應用領域:通用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫(yī)學、高分子科學、半導體、微觀流體學等領域.
主要應用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.沉積實驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
主要特點:
1.實時檢測顯示真空度,使得機器在智能控制下有了可靠的依據.
2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側開門結構,帶有觀察窗,材料為6061材質.
4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.
6.觸摸屏+內置計算機顯示控制,手動自動兩種模式任意切換.
7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動完成實驗.
8.利用氣體電離后產生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學反應,使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。
9.無需任何耗材,使用成本低,無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術規(guī)格參數
型號:SAT 1620 | 品牌:賽奧特(SAT) |
※不銹鋼方形腔體 | 內部尺寸:300(深度)X230(寬)X230(高)mm ,容積約16升 |
※射頻頻率 | 13.56MHz ,配置自動匹配器 |
※射頻功率 | 最高300W,0到300W可調,精度:1瓦, |
※輝光放電最低功率 | 最低輝光放電功率:10W |
輝光放電時間設定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設置 | 三氣路(兩路進氣,一路放空) |
※樣品托盤數量 | 兩層標準配置。 |
※放置樣品托盤有效使用尺寸 | 220(寬)X270(長)mm,材質:6061鋁氧化本色 |
※工作氣體穩(wěn)定時間 | 氣體穩(wěn)定時間:可調整,可設定,范圍:0--180秒 |
※進氣控制 | 內置兩路質量流量計(MFC)控制 |
工作氣體 | 空氣氮氣氬氣氮氫混合氣氬氦混合氣等均可; |
進氣壓力 | 空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可選機械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V/50Hz |
整機尺寸 | 615(深)ⅹ485(寬)ⅹ630(高)mm |
重 量(約) | 60KG |
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