SAT 8020 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)（Plasma）

應(yīng)用領(lǐng)域：適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.            

主要實(shí)驗(yàn)應(yīng)用:1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物  8.疏水實(shí)驗(yàn)  9.沉積實(shí)驗(yàn)  10.形成新的基團(tuán)  11.鍍膜前處理等

主要特點(diǎn)：

1.PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，全自動(dòng)進(jìn)行。

2.采用7寸觸摸屏操作界面，實(shí)時(shí)工作參數(shù)狀態(tài)顯示。

3.手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

4.數(shù)字流量計(jì)（MFC）控制標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。

5.處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

6.合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)備占用空間小。

7.可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

8.樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

9使用成本低、耗損小，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝與維護(hù)簡便方便，安全保護(hù)，艙門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

型號(hào)：SAT 8020	品牌：賽奧特（SAT）
※不銹鋼腔體尺寸	W420xH400xD500mm
真空腔體容積	約80升
載物托盤有效尺寸	W400xD460mm
電極板分布	六層，層高30mm
※射頻頻率	13.56MHz
※射頻功率	最高600W，0到600W可調(diào)，精度：1瓦，
輝光放電時(shí)間設(shè)定	1秒到99分59秒
控制系統(tǒng)	7寸彩色觸摸屏+PLC工控機(jī)
氣路設(shè)置	內(nèi)置兩路（MFC）控制
工作氣體穩(wěn)定時(shí)間	氣體穩(wěn)定時(shí)間:一分鐘
激發(fā)方式	電容式（CCP）
工作氣體	空氣氮?dú)鈿鍤獾獨(dú)浠旌蠚鈿搴せ旌蠚獾染?/span>
進(jìn)氣壓力	空氣常壓，連接鋼瓶：0.1-0.2Mpa
真空泵	抽速48m3/h
電  源	AC380V   50-60Hz
整機(jī)功率（含泵）	≤3.0KW
整機(jī)尺寸（寬*深*高）	L905xW845XH1940mm
重  量（約）	465kg

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