SAT 3000 透射電鏡樣品桿等離子清洗機(jī)（Plasma）

一、應(yīng)用領(lǐng)域

    主要用于TEM透射電鏡樣品桿的清洗和真空檢漏。

二、實(shí)驗(yàn)應(yīng)用

 透射電鏡樣品桿清洗機(jī)主要用于TEM透射電鏡樣品桿的清洗和真空檢漏。

 三、設(shè)備原理

 SAT透射電鏡樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源，清潔快速高效、低轟擊損傷，同時(shí)也可以作為常規(guī)等離子清洗。

四、技術(shù)特點(diǎn)

  遠(yuǎn)程等離子源、一機(jī)多用、清潔快速高效、低轟擊損傷.

 五、技術(shù)規(guī)格

1.7寸全彩觸摸屏智能程序化操控方式，人機(jī)互動(dòng)界面。

2.手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式，可根據(jù)客戶需求任意切換，自動(dòng)工作模式下可編程，自動(dòng)完成整個(gè)清洗過程。

*3.清洗室:尺寸：?180ⅹH100mm，材質(zhì)：不銹鋼

*4.清洗數(shù)量：可以同時(shí)清洗3支TEM樣品桿。

*5.適配TEM品牌：美國THERMO   FISHER (FED、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL)等，或者您提供準(zhǔn)確的TEM樣品桿的尺寸（直徑*長度）我們來定做，都可以滿足您的樣品桿清潔

*6.13.56MHz射頻RF電源.

*7.射頻功率5-150W無極可調(diào)

*8.遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器。

9.真空控制：皮拉尼真空計(jì)，測量范圍：1.0E-5Pa—1E+5Pa。

10.真空保證：真空計(jì)和電磁閥互鎖。

11.真空系統(tǒng)：

     1）前級泵：國產(chǎn)機(jī)械油泵，抽氣速率：2.5 m3/h

     2）分子泵：極限真空LF<8ⅹ10-6Pa,CF<8ⅹ10-7Pa，  抽速：85L/S(N2)     ，入口法蘭：DN63   ISO-K(LF)/CF

12.工作氣體：氧氣、氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w，也可以直接通入空氣。

13.標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC)可選雙路。0一500S，自動(dòng)控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

14.艙體、管路、閥體全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)。

15.電源220V，50/60Hz。

16.產(chǎn)品尺寸：L565xw505xH560mm    重量：約68Kg

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